2014年6月4日 星期三

半導體用機械手臂

(真空)半導體用機械手臂商品名稱:(真空)半導體用機械手臂

廠牌:AITEC 

製造地(產地):日本 

型號:請參考以下表格 

IC半導体向けクリーンロボットシリーズ
wafer handling clean robot series
use in vacuum

■For 2"~12" wafer handling
SINGLE ARMAR-SV300 
AR-SV300NLong Z-axis robot
DOUBLE ARMAR-WV300 
DOUBLE ARMAR-WV350(新上市)θ軸旋轉無角度限制∞ 

◎日本原廠依客戶需求可客制FORK,進而向下支援2" Wafer , 範圍可達2" ~ 12" .
◎全系列Robot為伺服驅動器馬達,重覆精度可達±0.1mm.
◎簡單易操控的人機介面教導器,迅速故障排除與Teaching取放點位.
◎如需進一步的了解隨時歡迎您與我們詢問聯絡.
機械手臂維修